Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征 | |
单兆会; 高劲松 ; 王彤彤; 申振峰; 陈红
| |
| 2011-08-10 | |
| 发表期刊 | 红外
 |
| 期号 | 08页码:8-11 |
| 关键词 | 低压反应离子镀 类金刚石薄膜 拉曼光谱 显微硬度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28208 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 单兆会,高劲松,王彤彤,等. 用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征[J]. 红外,2011(08):8-11. |
| APA | 单兆会,高劲松,王彤彤,申振峰,&陈红.(2011).用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征.红外(08),8-11. |
| MLA | 单兆会,et al."用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征".红外 .08(2011):8-11. |
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