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用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征
单兆会; 高劲松; 王彤彤; 申振峰; 陈红
2011-08-10
发表期刊红外
期号08页码:8-11
关键词低压反应离子镀 类金刚石薄膜 拉曼光谱 显微硬度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28208
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
单兆会,高劲松,王彤彤,等. 用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征[J]. 红外,2011(08):8-11.
APA 单兆会,高劲松,王彤彤,申振峰,&陈红.(2011).用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征.红外(08),8-11.
MLA 单兆会,et al."用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征".红外 .08(2011):8-11.
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