Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微光电子机械系统技术及其应用 | |
| 李红光 | |
| 2011-11-20 | |
| 发表期刊 | 传感器与微系统
 |
| 期号 | 11页码:1-3+7 |
| 关键词 | 微光电子机械系统 微电子机械系统 微系统 微结构 小型系统 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28092 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李红光. 微光电子机械系统技术及其应用[J]. 传感器与微系统,2011(11):1-3+7. |
| APA | 李红光.(2011).微光电子机械系统技术及其应用.传感器与微系统(11),1-3+7. |
| MLA | 李红光."微光电子机械系统技术及其应用".传感器与微系统 .11(2011):1-3+7. |
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| 微光电子机械系统技术及其应用.caj（181KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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