Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法 | |
赵阳; 巩岩
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| 2012-08-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 08页码:161-167 |
| 关键词 | 几何光学 非平行反射扩束单元 子光束叠加 照明均匀性 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28069 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵阳,巩岩. 提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法[J]. 光学学报,2012(08):161-167. |
| APA | 赵阳,&巩岩.(2012).提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法.光学学报(08),161-167. |
| MLA | 赵阳,et al."提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法".光学学报 .08(2012):161-167. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性（1508KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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