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计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究
陈赟; 李艳茹; 张红胜
2012-09-15
发表期刊长春理工大学学报(自然科学版)
期号03页码:40-43
关键词计量圆光栅 制作工艺 刻划精度 均匀性
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27813
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
陈赟,李艳茹,张红胜. 计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2012(03):40-43.
APA 陈赟,李艳茹,&张红胜.(2012).计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究.长春理工大学学报(自然科学版)(03),40-43.
MLA 陈赟,et al."计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究".长春理工大学学报(自然科学版) .03(2012):40-43.
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