Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外光刻离轴照明技术研究 | |
王君; 金春水 ; 王丽萍; 卢增雄
| |
| 2012-12-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 12页码:147-152 |
| 关键词 | X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27809 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王君,金春水,王丽萍,等. 极紫外光刻离轴照明技术研究[J]. 光学学报,2012(12):147-152. |
| APA | 王君,金春水,王丽萍,&卢增雄.(2012).极紫外光刻离轴照明技术研究.光学学报(12),147-152. |
| MLA | 王君,et al."极紫外光刻离轴照明技术研究".光学学报 .12(2012):147-152. |
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| 极紫外光刻离轴照明技术研究.caj（583KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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