Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析 | |
孙振 ; 巩岩
| |
| 2012-08-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 04页码:401-406 |
| 关键词 | 可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27573 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙振,巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学,2012(04):401-406. |
| APA | 孙振,&巩岩.(2012).光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析.中国光学(04),401-406. |
| MLA | 孙振,et al."光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析".中国光学 .04(2012):401-406. |
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| 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析.c（386KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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