Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析 | |
倪明阳 ; 巩岩
| |
| 2012-10-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 05页码:476-484 |
| 关键词 | 光刻 投影物镜 运动学支撑 柔度 面形 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27572 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 倪明阳,巩岩. 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析[J]. 中国光学,2012(05):476-484. |
| APA | 倪明阳,&巩岩.(2012).光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析.中国光学(05),476-484. |
| MLA | 倪明阳,et al."光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析".中国光学 .05(2012):476-484. |
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