Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正 | |
王晓东; 朱小明; 吕宝林; 刘文光 | |
2012-12-15 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 12页码:2674-2679 |
关键词 | 极紫外成像仪 光子计数成像仪 极间串扰 伪信号触发 能量上下限 边缘特性 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27267 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓东,朱小明,吕宝林,等. EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正[J]. 光学精密工程,2012(12):2674-2679. |
APA | 王晓东,朱小明,吕宝林,&刘文光.(2012).EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正.光学精密工程(12),2674-2679. |
MLA | 王晓东,et al."EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正".光学精密工程 .12(2012):2674-2679. |
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