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基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作
刘利娜; 贾宏光; 王淑荣; 吴一辉
2006-06-30
发表期刊微细加工技术
ISSN1003-8213
期号2
摘要为满足微全分析系统集成化的发展要求,设计制造了一种微型温控芯片。该芯片以硅为基底,采用MEMS工艺集成了加热和温度传感双重功能。介绍了芯片的制作工艺,并对加热器和温度传感器的性能进行测试和分析,结果表明,该芯片加热响应迅速,温度传感器灵敏度高、线性度好。而且这种温控芯片体积小、结构简单,易于集成。
关键词微全分析系统 双功能温控芯片 Mems 温度控制
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24189
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
刘利娜,贾宏光,王淑荣,等. 基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作[J]. 微细加工技术,2006(2).
APA 刘利娜,贾宏光,王淑荣,&吴一辉.(2006).基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作.微细加工技术(2).
MLA 刘利娜,et al."基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作".微细加工技术 .2(2006).
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