Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜 | |
张金波; 赵新丽; 李炳生; 刘益春; 申德振
| |
| 2006-11-28 | |
| 发表期刊 | 扬州大学学报(自然科学版)
 |
| ISSN | 1007-824X |
| 期号 | 4 |
| 摘要 | 通过引入金属有机源——二乙基锌和二氧化碳,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法在低温下制备高质量(002)取向的氧化锌薄膜,详细研究了衬底温度对薄膜质量的影响.实验发现,衬底温度对氧化锌的取向性和晶粒的大小都有显著的影响.随着温度的提高,氧化锌的取向性增强,温度为230℃时得到单一(002)取向的六角结构的氧化锌薄膜,其XRD的半高宽为0.26.°从其透射谱可以观察到典型的激子吸收线,从光致发光谱上可以观察到一个强而窄(半高宽度大约为125meV)的3.26eV紫外激子发射. |
| 关键词 | 氧化锌 光致发光谱 透射谱 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24101 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张金波,赵新丽,李炳生,等. 等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜[J]. 扬州大学学报(自然科学版),2006(4). |
| APA | 张金波,赵新丽,李炳生,刘益春,&申德振.(2006).等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜.扬州大学学报(自然科学版)(4). |
| MLA | 张金波,et al."等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜".扬州大学学报(自然科学版) .4(2006). |
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