Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_ | |
陈波 | |
2007-12-15 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 12 |
摘要 | 综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展。描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6~22nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25mm,等效像元分辨率为0.3mm的极紫外波段探测器;开展了超光滑表面加工、检测技术的研究,研制了超光滑表面抛光机,加工出高面形精度的超光滑表面,面形精度为6nm(RMS值),表面粗糙度达0.6nm(RMS值);进行了软X射线-极紫外波段多层膜技术的研究,研制出13nm处反射率为60%的多层膜反射镜,150mm口径反射镜的反射率均匀性优于±2.5%;最后,讨论了软X射线-极紫外波段测量技术研究,研制出该波段反射率计,其测量范围为5~50nm,光谱分辨率好于0.2nm,测量重复性好于±1%。在上述关键技术研究基础上,研制出了极紫外波段成像仪和空间极紫外波段太阳望远镜,这些仪器在我国空间科学研究项目中发挥了作用。 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24040 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈波. 长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_[J]. 光学精密工程,2007(12). |
APA | 陈波.(2007).长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_.光学精密工程(12). |
MLA | 陈波."长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_".光学精密工程 .12(2007). |
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