长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_

	长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_
	陈波
	2007-12-15
发表期刊	光学精密工程
期号	12
摘要	综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展。描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6～22nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25mm,等效像元分辨率为0.3mm的极紫外波段探测器;开展了超光滑表面加工、检测技术的研究,研制了超光滑表面抛光机,加工出高面形精度的超光滑表面,面形精度为6nm(RMS值),表面粗糙度达0.6nm(RMS值);进行了软X射线-极紫外波段多层膜技术的研究,研制出13nm处反射率为60%的多层膜反射镜,150mm口径反射镜的反射率均匀性优于±2.5%;最后,讨论了软X射线-极紫外波段测量技术研究,研制出该波段反射率计,其测量范围为5～50nm,光谱分辨率好于0.2nm,测量重复性好于±1%。在上述关键技术研究基础上,研制出了极紫外波段成像仪和空间极紫外波段太阳望远镜,这些仪器在我国空间科学研究项目中发挥了作用。
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24040
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈波. 长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_[J]. 光学精密工程,2007(12).
APA	陈波.(2007).长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_.光学精密工程(12).
MLA	陈波."长春光机所软X射线_极紫外波段光学研究_英文_".光学精密工程 .12(2007).

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