利用衍射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究

	利用衍射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究
	孙强
	2007-07-15
发表期刊	物理学报
期号	7
摘要	建立了共形整流罩的模型结构,分析了其成像特性,并提出了采用加入衍射元件的方法来设计共形整流罩后的校正板,软件模拟结果表明带有衍射面的校正板能够进一步地改善共形整流罩成像质量.
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23921
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	孙强. 利用衍射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究[J]. 物理学报,2007(7).
APA	孙强.(2007).利用衍射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究.物理学报(7).
MLA	孙强."利用衍射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究".物理学报 .7(2007).