Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
凹球面网栅激光直写实时控制方法 | |
梁凤超 | |
2007-04-15 | |
发表期刊 | 光电工程 |
期号 | 4 |
摘要 | 提出一种基于Dual-PortedRAM(DPRAM)的凹球面网栅激光直写实时控制方法。采用计算机与PMAC双CPU主从并行、双向通讯和即存即取的控制方法,开发了多层嵌套并行工作程序,使计算机与PMAC实时处理、交换、显示大量控制参数和状态信息,实现了实时控制激光直写凹球面网栅。在口径200mm、半径150mm的涂覆感光胶玻璃凹球面基底上,激光直写出了100μm周期网栅。微米级读数显微镜测量结果表明,网栅均匀,周期误差小于±3%,达到设计要求。 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23837 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁凤超. 凹球面网栅激光直写实时控制方法[J]. 光电工程,2007(4). |
APA | 梁凤超.(2007).凹球面网栅激光直写实时控制方法.光电工程(4). |
MLA | 梁凤超."凹球面网栅激光直写实时控制方法".光电工程 .4(2007). |
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