软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析

	软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析
	巴音贺希格
	2007-01-30
发表期刊	光学精密工程
期号	1
摘要	在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法,改善了计算收敛性。运用改进后的微分理论对软X射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析,通过详细考察三角槽形、正弦槽形和矩形镀金光栅的软X射线-1级衍射效率对光栅结构参数和入射光状态参数的响应程度,给出了一种在使用和制作工艺上都能够接受的光栅技术指标。结果表明,作为闪耀波长为10.33nm的软X射线波段掠入射镀金光栅,采用81°入射的刻线密度为1200l/mm,倾斜角为2°,顶角大于120°的三角槽形光栅较为合适,其效率可达到50%以上。同时,得到了一些优化软X射线波段掠入射金属光栅设计的新结论。
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23792
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巴音贺希格. 软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析[J]. 光学精密工程,2007(1).
APA	巴音贺希格.(2007).软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析.光学精密工程(1).
MLA	巴音贺希格."软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析".光学精密工程 .1(2007).