Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 电容式Lamb波器件的信号接收方法 | |
| 贾宏光 | |
| 2007-01-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(CapacitiveInterdigitalTransducers,CIDT)的集成化的电容式Lamb波器件。利用电容式叉指换能器直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。在分析各种电容检测电路的基础上,针对Lamb波电容式检测的特殊性,选择了直流电路法来进行接收电容变化规律的测量。为说明直流电路法的适用性,设计了波动检测验证实验。实验结果表明:用直流电路法测量得到的声波信号与其理论计算值之间误差仅为2.4%,证明了直流电路法的适用性,解决了目前Lamb波器件的功能材料层的制作工艺均与传统集成电路工艺不兼容的问题。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23789 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾宏光. 电容式Lamb波器件的信号接收方法[J]. 光学精密工程,2007(1). |
| APA | 贾宏光.(2007).电容式Lamb波器件的信号接收方法.光学精密工程(1). |
| MLA | 贾宏光."电容式Lamb波器件的信号接收方法".光学精密工程 .1(2007). |
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| 电容式Lamb波器件的信号接收方法.ca（287KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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