Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 体硅MOEMS阵列光开关的制作 | |
梁静秋
| |
| 2006-08-03 | |
| 发表期刊 | 半导体技术
 |
| 期号 | 8 |
| 摘要 | 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23757 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋. 体硅MOEMS阵列光开关的制作[J]. 半导体技术,2006(8). |
| APA | 梁静秋.(2006).体硅MOEMS阵列光开关的制作.半导体技术(8). |
| MLA | 梁静秋."体硅MOEMS阵列光开关的制作".半导体技术 .8(2006). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 体硅MOEMS阵列光开关的制作.kdh（124KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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