Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
PC光学树脂计量圆光栅的制作 | |
陈赟; 李艳茹 | |
2010-08-01 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
ISSN | 1007-2780 |
卷号 | 18期号:8页码:1788-5 |
摘要 | 为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23605 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟,李艳茹. PC光学树脂计量圆光栅的制作[J]. 光学精密工程,2010,18(8):1788-5. |
APA | 陈赟,&李艳茹.(2010).PC光学树脂计量圆光栅的制作.光学精密工程,18(8),1788-5. |
MLA | 陈赟,et al."PC光学树脂计量圆光栅的制作".光学精密工程 18.8(2010):1788-5. |
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PC光学树脂计量圆光栅的制作.caj(354KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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