CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
PC光学树脂计量圆光栅的制作
陈赟; 李艳茹
2010-08-01
发表期刊光学精密工程
ISSN1007-2780
卷号18期号:8页码:1788-5
摘要为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。
收录类别EI
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23605
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
陈赟,李艳茹. PC光学树脂计量圆光栅的制作[J]. 光学精密工程,2010,18(8):1788-5.
APA 陈赟,&李艳茹.(2010).PC光学树脂计量圆光栅的制作.光学精密工程,18(8),1788-5.
MLA 陈赟,et al."PC光学树脂计量圆光栅的制作".光学精密工程 18.8(2010):1788-5.
条目包含的文件 下载所有文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
PC光学树脂计量圆光栅的制作.caj(354KB) 开放获取--浏览 下载
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[陈赟]的文章
[李艳茹]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[陈赟]的文章
[李艳茹]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[陈赟]的文章
[李艳茹]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: PC光学树脂计量圆光栅的制作.caj
格式: caj
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。