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光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析
秦莉; 王立军
2010-04-01
发表期刊半导体光电
ISSN1001-5868
卷号31期号:2页码:205-210
摘要研究了光泵浦垂直外腔面发射激光器(OPS-VECSEL)的湿法腐蚀工艺,采用快速腐蚀和精细选择腐蚀相结合的腐蚀方法,使得衬底能被干净地腐蚀掉,并精确停留在阻挡层,得到高平整度的外延片表面,提高了泵浦效率,降低了散射损耗。从理论上分析了外延片表面粗糙度与OPS-VECSEL斜率效率的关系,得出如果在外延片上镀一层λ/4单介质增透膜,能进一步提高VECSEL的斜率效率。
收录类别EI
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23532
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
秦莉,王立军. 光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析[J]. 半导体光电,2010,31(2):205-210.
APA 秦莉,&王立军.(2010).光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析.半导体光电,31(2),205-210.
MLA 秦莉,et al."光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析".半导体光电 31.2(2010):205-210.
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