Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析 | |
秦莉; 王立军 | |
2010-04-01 | |
发表期刊 | 半导体光电 |
ISSN | 1001-5868 |
卷号 | 31期号:2页码:205-210 |
摘要 | 研究了光泵浦垂直外腔面发射激光器(OPS-VECSEL)的湿法腐蚀工艺,采用快速腐蚀和精细选择腐蚀相结合的腐蚀方法,使得衬底能被干净地腐蚀掉,并精确停留在阻挡层,得到高平整度的外延片表面,提高了泵浦效率,降低了散射损耗。从理论上分析了外延片表面粗糙度与OPS-VECSEL斜率效率的关系,得出如果在外延片上镀一层λ/4单介质增透膜,能进一步提高VECSEL的斜率效率。 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23532 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦莉,王立军. 光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析[J]. 半导体光电,2010,31(2):205-210. |
APA | 秦莉,&王立军.(2010).光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析.半导体光电,31(2),205-210. |
MLA | 秦莉,et al."光泵浦垂直外腔面发射激光器斜率效率的分析".半导体光电 31.2(2010):205-210. |
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