Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于高精度位移传感器的减振平台 | |
宁大勇; 高云国 ; 刘稀凤
| |
| 2010-03-20 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 18期号:3页码:646-651 |
| 摘要 | 为了保证光学精密仪器工作基础的高稳定性,设计了一种新型的减振平台。该减振平台采用精度为10nm的位移传感器作为测量装置,通过位移传感器测量隔振平台支撑弹簧的长度变化,计算出支撑力的变化;然后,调整电磁驱动器的电磁力,使光学精密仪器受力平衡,达到减振的目的。理论及仿真分析表明,采用这种减振方式有很好的减振效果。同时,由于每级减振装置之间是彼此独立的,这种减振方式更有利于多级减振。实验结果显示,基座振幅为0.22mm时,减振台支撑面振幅为1.6μm;基座振幅为0.20mm时,减振台支撑面振幅为1.4μm;基座振幅0.18mm时,减振台支撑面振幅为1.2μm;基座振幅为0.15mm时,减振台支撑面振幅为1.0μm,表明该平台有效地起到了减振作用。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23522 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宁大勇,高云国,刘稀凤. 基于高精度位移传感器的减振平台[J]. 光学精密工程,2010,18(3):646-651. |
| APA | 宁大勇,高云国,&刘稀凤.(2010).基于高精度位移传感器的减振平台.光学精密工程,18(3),646-651. |
| MLA | 宁大勇,et al."基于高精度位移传感器的减振平台".光学精密工程 18.3(2010):646-651. |
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| 基于高精度位移传感器的减振平台.caj（205KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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