Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测 | |
张峰
| |
| 2010-12-10 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 18期号:12 |
| 摘要 | 为了提高离轴凸非球面反射镜的面形精度和光轴精度,研究了离轴凸非球面反射镜的加工与检测技术。首先,描述了离轴三反消像散(TMA)光学系统以及作为该光学系统次镜的离轴凸非球面反射镜的光学参数和技术指标。然后,介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ非球面数控加工设备。最后,给出了非球面研磨阶段检测用的轮廓测量法和离轴凸非球面抛光阶段检测用的背部透射零位补偿检测法,并对背部透射零位补偿检测中离轴凸非球面反射镜光轴精度的控制技术进行了研究。检测结果表明:采用背部透射零位补偿检测法检测得到的离轴凸非球面反射镜的面形精度为0.017λ(均方根值,λ=0.6328μm);用Leica经纬仪测量反射镜的光轴精度其结果达到9.4″,满足光学设计技术指标要求。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23491 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张峰. 高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测[J]. 光学精密工程,2010,18(12). |
| APA | 张峰.(2010).高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测.光学精密工程,18(12). |
| MLA | 张峰."高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测".光学精密工程 18.12(2010). |
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| 高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测.c（699KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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