Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 掠入射X射线散射法测量超光滑表面 | |
王永刚; 孟艳丽; 马文生; 陈斌 ; 陈波
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| 2010-01-20 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 18期号:1页码:60-68 |
| 摘要 | 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度<0.02mm,入射光发散度<43″时,在空间频率>0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差<2%。随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23466 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王永刚,孟艳丽,马文生,等. 掠入射X射线散射法测量超光滑表面[J]. 光学精密工程,2010,18(1):60-68. |
| APA | 王永刚,孟艳丽,马文生,陈斌,&陈波.(2010).掠入射X射线散射法测量超光滑表面.光学精密工程,18(1),60-68. |
| MLA | 王永刚,et al."掠入射X射线散射法测量超光滑表面".光学精密工程 18.1(2010):60-68. |
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