Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| Offner补偿器的结构设计与装调 | |
陈旭; 刘伟奇; 康玉思 ; 冯睿; 魏忠伦; 柳华
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| 2010-01-20 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 18期号:1页码:88-93 |
| 摘要 | 针对90nm节点光刻投影镜头中使用的非球面存在高次项,且与理想球面偏离量较大的特点,基于像差补偿理论,设计了一种三片式结构的Offner补偿器来实现非球面的高精度检测。采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,主动引入一定量的轴向球差,补偿光线在非球面法线方向的偏离量。结果表明,初级像差和高级像差可很好地平衡,使剩余像差很小;MTF远远超过衍射极限;系统工作波长为632.8nm,F数为1.64,均方波差RMS<λ/1250;系统轴向像差<0.47μm,满足基本干涉成像条件;各方面指标均满足高精度检测补偿器的设计要求。最后,根据现有检测装置的精度对所设计的结果进行了公差分析,给出了较宽松的公差容限。公差分配后,系统综合残余波像差<0.00727λ,满足系统装调精度要求。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23464 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈旭,刘伟奇,康玉思,等. Offner补偿器的结构设计与装调[J]. 光学精密工程,2010,18(1):88-93. |
| APA | 陈旭,刘伟奇,康玉思,冯睿,魏忠伦,&柳华.(2010).Offner补偿器的结构设计与装调.光学精密工程,18(1),88-93. |
| MLA | 陈旭,et al."Offner补偿器的结构设计与装调".光学精密工程 18.1(2010):88-93. |
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