SX_700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量

	SX_700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量
	薛松; 吴坤; 卢启鹏; 彭忠琦; 陈家华; 刘楷
	2010-01-15
发表期刊	光学精密工程
ISSN	1004-924X
卷号	18 期号:1 页码:45-51
摘要	为了使上海光源(SSRF)研制的SX-700单色器的主要设计指标——波长扫描转角重复精度满足优于0.43″的要求,研究了单色器的波长扫描组件—光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时,运用有限元分析软件AN-SYS对光栅正弦机构进行数值模拟计算,并根据模拟结果对光栅正弦机构的转角重复精度进行了误差分析,得到的转角重复精度为0.28″。依据分析结果制定了工程设计方案,并成功加工、装配了SX-700单色器。利用作者建立的一套由光电自准直仪组成的测试系统对光栅正弦机构的转角重复精度进行测试,实测精度为0.15″。结果表明,设计的SSRF的SX-700单色器光栅正弦机构的转角重复精度满足设计要求。
收录类别	EI
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23463
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	薛松,吴坤,卢启鹏,等. SX_700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量[J]. 光学精密工程,2010,18(1):45-51.
APA	薛松,吴坤,卢启鹏,彭忠琦,陈家华,&刘楷.(2010).SX_700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量.光学精密工程,18(1),45-51.
MLA	薛松,et al."SX_700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量".光学精密工程 18.1(2010):45-51.

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