Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器 | |
宁永强 ; 秦莉
| |
| 2009-08-05 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| ISSN | 0258-7025 |
| 卷号 | 8期号:36页码:1963 |
| 摘要 | 为了改善大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的模式特性,在GaAs衬底上采用限制扩散湿法刻蚀技术制作出了不同曲率半径的微透镜,与P型和N型分布式布拉格反射镜(DBR)构成复合腔结构,可以对腔内模式进行选择。有源区采用新型的发射波长为980nm的InGaAs/GaAs应变量子阱,包括9对In_(0.2)Ga_(0.8)As(6nm)/Ca_(0.18)As_(0.82)P(8nm)量子阱.有源区直径100μm,微透镜直径300μm,曲率半径959.81μm,表面粗糙度13nm。室温下,器件连续输出功率大于180mW,阈值电流200mA,远场发散角半角宽度分别为7.8°和8.4°,并且与没有微透镜的垂直腔面发射激光器输出特性进行了比较。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23415 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宁永强,秦莉. 微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器[J]. 中国激光,2009,8(36):1963. |
| APA | 宁永强,&秦莉.(2009).微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器.中国激光,8(36),1963. |
| MLA | 宁永强,et al."微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器".中国激光 8.36(2009):1963. |
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| 微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器.ca（396KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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