Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 薄膜反射镜的单电极控制静电成形 | |
| 安源; 金光 | |
| 2009-08-25 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 8期号:17页码:1964 |
| 摘要 | 考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术。介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验。给出了控制成型所需的主要参数,设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路,并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距。实验结果显示,未通电时薄膜反射镜面形的PV值达到11.14λ,RMS值为1.86λ,在10000V的高压下可以形成焦距约为2.1m的反射镜面。通过Zernike拟合验证了数据的可靠性,结果表明,通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料,反射镜面形精度可进一步提高。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23410 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 安源,金光. 薄膜反射镜的单电极控制静电成形[J]. 光学精密工程,2009,8(17):1964. |
| APA | 安源,&金光.(2009).薄膜反射镜的单电极控制静电成形.光学精密工程,8(17),1964. |
| MLA | 安源,et al."薄膜反射镜的单电极控制静电成形".光学精密工程 8.17(2009):1964. |
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| 薄膜反射镜的单电极控制静电成形.caj（447KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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