Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光学系统信噪比 | |
陈红; 王彤彤 ; 高劲松
| |
| 2009-12-03 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 12期号:17页码:2952 |
| 摘要 | 为了消除SiC反射镜的固有缺陷,提高反射式光学系统的信噪比,使用SiC表面改性技术对同轴三反射(TMC)光学系统的SiC反射镜进行了处理。首先,应用等离子体辅助沉积(PIAD)技术沉积了一层Si改性层,接着对改性层进行精密抛光,然后在反射镜表面镀制Ag膜和增强膜,最后获得了表面改性对TMC光学系统信噪比的影响。Wyko轮廓仪测试表明,SiC反射镜的粗糙度Ra由10.42nm降低到了0.95nm;镀制高反射膜后,主镜、次镜、三镜及折叠镜在0.5～0.8μm可见光波段的反射率>98%。计算结果表明,应用了表面改性技术后TMC反射式光学系统的信噪比提高了5%以上,说明SiC表面改性技术是一种提高TMC光学系统信噪比的有效方法。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23314 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈红,王彤彤,高劲松. 应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光学系统信噪比[J]. 光学精密工程,2009,12(17):2952. |
| APA | 陈红,王彤彤,&高劲松.(2009).应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光学系统信噪比.光学精密工程,12(17),2952. |
| MLA | 陈红,et al."应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光学系统信噪比".光学精密工程 12.17(2009):2952. |
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| 应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光（490KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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