Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究 | |
张斌智 ; 杨利伟; 张峰
| |
| 2008-07-01 | |
| 发表期刊 | 光学技术
 |
| 期号 | 4 |
| 摘要 | 轻量化的碳化硅反射镜有自己独特的结构特点,加工中的变形与传统实体反射镜不同,对加工后的面形结果有独特的影响。对一直径为318mm的轻量化碳化硅反射镜进行了传统的研磨抛光,由于镜面变形对抛光结果带来了很大的影响,其面形误差的RMS值在0.048λ(λ=0.6328μma)左右就不再收敛。对抛光状态的镜体进行了有限元分析,探讨了减轻镜面变形对抛光结果影响的方法。采用计算机控制小磨头对该反射镜进行了确定性抛光,有效地降低了镜面形变的影响,使面形满足了精度的要求。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23206 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张斌智,杨利伟,张峰. 轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究[J]. 光学技术,2008(4). |
| APA | 张斌智,杨利伟,&张峰.(2008).轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究.光学技术(4). |
| MLA | 张斌智,et al."轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究".光学技术 .4(2008). |
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| 轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研（575KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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