Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种微型光开关的设计与仿真分析 | |
梁静秋 ; 梁中翥
| |
| 2008-06-04 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 6 |
| 摘要 | 介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02mm,能够满足器件转换光路的要求。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23203 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,梁中翥. 一种微型光开关的设计与仿真分析[J]. 光学学报,2008(6). |
| APA | 梁静秋,&梁中翥.(2008).一种微型光开关的设计与仿真分析.光学学报(6). |
| MLA | 梁静秋,et al."一种微型光开关的设计与仿真分析".光学学报 .6(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种微型光开关的设计与仿真分析.caj（360KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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