Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 子孔径光学检测拼接准确度实验研究 | |
曹召良 ; 穆全全; 胡立发
| |
| 2008-06-02 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 6 |
| 摘要 | 实验研究了子孔径光学检测的拼接准确度.实验选取9个子孔径进行拼接,同时利用ZYGO干涉仪来测量子孔径和整个被检面的表面面形.实验发现,测量基准子孔径和整个被检面的时间间隔对子孔径拼接准确度的评价存在严重影响.为此,重点研究了产生影响的原因并提出了消除测量基准子孔径和整个被测面时间间隙影响的方法.最后,利用该方法研究了子孔径重叠面积对拼接准确度的影响.结果显示,当重叠面积比为7%时,PV和RMS的拼接误差分别为0.03λ(λ=632.8nm)和0.01λ,并且重叠面积比和拼接准确度呈近似线性关系. |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23195 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹召良,穆全全,胡立发. 子孔径光学检测拼接准确度实验研究[J]. 光子学报,2008(6). |
| APA | 曹召良,穆全全,&胡立发.(2008).子孔径光学检测拼接准确度实验研究.光子学报(6). |
| MLA | 曹召良,et al."子孔径光学检测拼接准确度实验研究".光子学报 .6(2008). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 子孔径光学检测拼接准确度实验研究.caj（419KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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