Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验 | |
薛栋林 ; 张忠玉; 郑立功
| |
| 2008-12-02 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 12 |
| 摘要 | 为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS)。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23104 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛栋林,张忠玉,郑立功. 大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验[J]. 光学精密工程,2008(12). |
| APA | 薛栋林,张忠玉,&郑立功.(2008).大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验.光学精密工程(12). |
| MLA | 薛栋林,et al."大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验".光学精密工程 .12(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验.c（619KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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