Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析 | |
| 刘伟奇 | |
| 2008-12-01 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 12 |
| 摘要 | 针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。基于标量衍射理论,仿真计算了小孔尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差。结果表明,当小孔直径为2.5μm,数值孔径(NA)为0.3时,与小孔有关的光学系统误差峰值(PV)约为0.07nm。仿真方法和计算结果为针对各种高精度面形检测任务而设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23096 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘伟奇. 点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析[J]. 光学学报,2008(12). |
| APA | 刘伟奇.(2008).点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析.光学学报(12). |
| MLA | 刘伟奇."点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析".光学学报 .12(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析.ca（273KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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