Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究 | |
鄂书林 ; 邓文渊
| |
| 2008-10-02 | |
| 发表期刊 | 半导体光电
 |
| 期号 | 5 |
| 摘要 | 对一种全聚合物SU8光波导的制备工艺和波导特性进行了研究。测试结果显示,所制备光波导在1550nm的传输损耗为2.01dB/cm,且具有高的侧壁陡直度。详细研究了光波导制备工艺过程中前烘温度和时间、光刻时间、后烘温度和时间以及显影时间等工艺参数对波导质量的影响,给出了4.5μm×4.0μm尺寸单模波导制备的优化工艺。讨论了采用稀释后的SU8材料所制备的光波导出现侧蚀的原因以及改进的方法。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23043 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鄂书林,邓文渊. 全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究[J]. 半导体光电,2008(5). |
| APA | 鄂书林,&邓文渊.(2008).全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究.半导体光电(5). |
| MLA | 鄂书林,et al."全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究".半导体光电 .5(2008). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究（426KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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