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Love波传感器及其质量灵敏度测试
贾宏光
2006-05-30
发表期刊传感技术学报
ISSN1004-1699
期号5
摘要为实现流体领域的液相传感,设计并制作了基于36°-YXLiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响,为进一步提高灵敏度提供了参考.
收录类别EI
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22930
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
贾宏光. Love波传感器及其质量灵敏度测试[J]. 传感技术学报,2006(5).
APA 贾宏光.(2006).Love波传感器及其质量灵敏度测试.传感技术学报(5).
MLA 贾宏光."Love波传感器及其质量灵敏度测试".传感技术学报 .5(2006).
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