Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 自控液晶光阀组式光刻快门研究 | |
| 陈赟 | |
| 2006-05-30 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| ISSN | 1004-4213 |
| 卷号 | 5期号:35页码:783 |
| 摘要 | 通过理论推导,构建了抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的数学模型,为液晶光阀代替穿孔带提供了理论依据·结合液晶光阀的工作原理和光刻快门的控制原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图.通过实际光刻试验,自控液晶光阀组光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计要求,刻出的图案清晰,线条陡直.证明液晶光阀组替代穿孔带用作光刻快门是完全可行的· |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22929 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟. 自控液晶光阀组式光刻快门研究[J]. 光子学报,2006,5(35):783. |
| APA | 陈赟.(2006).自控液晶光阀组式光刻快门研究.光子学报,5(35),783. |
| MLA | 陈赟."自控液晶光阀组式光刻快门研究".光子学报 5.35(2006):783. |
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| 自控液晶光阀组式光刻快门研究.caj（280KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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