Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析 | |
冯晓国
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| 2006-04-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 2期号:14页码:251 |
| 摘要 | 纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用“同心扫描”的运动方式可在凹球面上生成纬线。“同心扫描”要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心误差与离焦量和栅距误差的变化关系:随着同心误差增加,系统离焦量和栅距误差也增加,且二者的变化趋势基本一致。因为网栅线宽一般要求达到微米量级,与之匹配的栅距则往往为几百微米,所以栅距误差与栅距相比可以忽略,系统离焦量对网栅线宽的影响却必须认真考虑。采用几何光学基本公式对物镜系统的进一步分析表明,为了制作细且均匀的网栅线条,必须采用小光斑,而小光斑对应的焦深也小,从而要求离焦量小,对同心误差要求严格;反之,则可放宽对同心误差的要求。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22917 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国. 同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析[J]. 光学精密工程,2006,2(14):251. |
| APA | 冯晓国.(2006).同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析.光学精密工程,2(14),251. |
| MLA | 冯晓国."同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析".光学精密工程 2.14(2006):251. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析.（118KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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