Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究 | |
| 任新光 | |
| 2009-06-03 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| ISSN | 1007-2780 |
| 卷号 | 3期号:24页码:389 |
| 摘要 | 对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料上的氧化铟锡(ITO)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究。在两种不同的衬底上均得到了不分相的、高质量的多晶ITO薄膜,其中生长在玻璃衬底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰宽为0.24°,生长在PET衬底上的为0.28°。两种样品在可见光区都具有很高的透过率,其中玻璃衬底上生长的薄膜的透过率约为92%,PET上生长的薄膜的透过率高达87%。两种薄膜均具有良好的导电性,玻璃衬底上薄膜的电阻率为4.2×10-4Ω.cm,柔性PET衬底上薄膜的电阻率为4.7×10-4Ω.cm。实验结果证明,完全可以采用磁控溅射的方法在柔性衬底上生长出高质量的ITO薄膜。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22896 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任新光. 玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究[J]. 液晶与显示,2009,3(24):389. |
| APA | 任新光.(2009).玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究.液晶与显示,3(24),389. |
| MLA | 任新光."玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究".液晶与显示 3.24(2009):389. |
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| 玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研（143KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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