Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析 | |
王辉
| |
| 2010-12-01 | |
| 发表期刊 | 中国光学与应用光学
 |
| ISSN | 1674-2915 |
| 卷号 | 3期号:6 |
| 摘要 | 介绍了极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑原理和支撑要求,分析了符合运动学支撑要求的物镜支撑结构和面形检测用支撑结构;针对支撑结构性能和支撑方案中关键问题进行了深入研究,并提出了相应的解决方案。最后建立了支撑结构的有限元模型,并在此基础上进行了重力场中的镜体变形分析和温度场作用下系统的热变形分析。分析结果表明,检测用支撑与实际用支撑两种结构在重力环境下支撑出的元件面形基本相同,面形相差0.0026nm(RMS);温控范围为0.05℃时,由机械结构热变形引起的镜体面形变化在0.001nm(RMS)量级。研究结果表明,运动学物镜元件支撑结构能够满足极紫外光刻系统对于物镜机械支撑结构的要求。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22455 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王辉. 极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析[J]. 中国光学与应用光学,2010,3(6). |
| APA | 王辉.(2010).极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析.中国光学与应用光学,3(6). |
| MLA | 王辉."极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析".中国光学与应用光学 3.6(2010). |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析.（606KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [王辉]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [王辉]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [王辉]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论