Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 薄镜面面形主动校正技术研究 | |
| 李宏壮; 刘欣悦; 王建立 | |
| 2010-01-20 | |
| 发表期刊 | 应用光学
 |
| ISSN | 1002-2082 |
| 卷号 | 31期号:1页码:118-123 |
| 摘要 | 采用12个主动支撑点对口径400mm薄实验镜进行面形主动校正,使用Zygo干涉仪测量面形误差,主动支撑点的力促动器由位移促动器和力传感器组成。分别测量单个促动器的响应函数,由各促动器的响应函数组成刚度矩阵,然后用阻尼最小二乘法计算各支撑点的校正力。实验中分析主动支撑结构对各项Zernike形式像差的校正能力,并选择了7项像差进行校正。经过5次校正,使初始状态下1.16λ(λ=0.6328μm)RMS面形精度达到0.13RMS,接近镜面抛光后的精度。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22402 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李宏壮,刘欣悦,王建立. 薄镜面面形主动校正技术研究[J]. 应用光学,2010,31(1):118-123. |
| APA | 李宏壮,刘欣悦,&王建立.(2010).薄镜面面形主动校正技术研究.应用光学,31(1),118-123. |
| MLA | 李宏壮,et al."薄镜面面形主动校正技术研究".应用光学 31.1(2010):118-123. |
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| 薄镜面面形主动校正技术研究.caj（721KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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