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激光位移传感器的光学系统设计
莫仁芸; 朱万彬; 钟俊; 陈璇
2010-10-15
发表期刊中国光学与应用光学
ISSN1674-2915
期号5
摘要针对目前国内自主研制的激光位移传感器精度低,测量范围小等问题,提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个激光位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上,结合具体要求设计了一个激光位移传感器的光学系统,其工作范围为(50±10)mm。采用系统分割的方法,将整个光学系统分为两部分进行设计,第一部分是激光束的整形透镜,要求在有效的工作范围内得到小而均匀的出射光斑,设计结果表明,在测量范围内,光斑大小能够控制在10-1mm量级;另一部分是被测面散射光接收的成像物镜,该系统的特点是物面和像面相对于光轴都有一定的角度,实验结果表明其成像满足Scheimpflug条件。
关键词激光位移传感器 激光三角法 整形镜 成像透镜 光学设计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22279
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
莫仁芸,朱万彬,钟俊,等. 激光位移传感器的光学系统设计[J]. 中国光学与应用光学,2010(5).
APA 莫仁芸,朱万彬,钟俊,&陈璇.(2010).激光位移传感器的光学系统设计.中国光学与应用光学(5).
MLA 莫仁芸,et al."激光位移传感器的光学系统设计".中国光学与应用光学 .5(2010).
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