Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制 | |
| 吴娜; 张善文; 宋可平; 巴音贺希格; 齐向东; 高键翔 | |
| 2009-07-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 期号 | 7 |
| 摘要 | 给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。采用光栅刻划机在金属膜上刻制占宽比为0.5的黑白光栅,并由黑白光栅翻制出制作光盘分束光栅的掩模版。通过掩模版对涂覆在K9玻璃基底上的光刻胶实施曝光和显影形成光刻胶矩形浮雕光栅,在理论设计的误差允许范围内,对此浮雕光栅沉积SiO2薄膜,去除残余光刻胶后得到SiO2矩形光栅母版,再经复制工艺制作了环氧树脂光盘分束光栅。测试结果表明,利用光盘分束光栅的纵向和横向加工误差的互补性,可以将光栅辅助光束与读写主光束强度之比的误差控制在±0.03之内。 |
| 关键词 | 光学头 分束光栅 精密刻划 镀膜技术 加工工艺 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22143 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴娜,张善文,宋可平,等. 基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制[J]. 光学精密工程,2009(7). |
| APA | 吴娜,张善文,宋可平,巴音贺希格,齐向东,&高键翔.(2009).基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制.光学精密工程(7). |
| MLA | 吴娜,et al."基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制".光学精密工程 .7(2009). |
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