Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 子孔径拼接检测大口径非球面技术的研究 | |
王孝坤 ; 郑立功; 张斌智
| |
| 2009-03-09 | |
| 发表期刊 | 应用光学
 |
| ISSN | 1002-2082 |
| 卷号 | 2期号:30页码:273 |
| 摘要 | 为了无需其他辅助光学元件就能够实现对大口径非球面的测量,提出了子孔径拼接干涉检测方法。并基于齐次坐标变换、最小二乘法以及Zernike多项式拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;开发了子孔径拼接检测非球面算法软件,进行了计算机模拟和仿真实验;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并利用子孔径拼接实现了对口径为350mm的双曲面的检测;为了分析和对比,对待测非球面进行零位补偿检测实验,子孔径拼接所得的面形分布和零位补偿检测所得的全口径面形分布都是一致的,其面形误差PV值和RMS值的偏差分别为0.032λ和0.004λ(λ=632.8nm)。从而提供了除零位补偿检测外另一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的手段。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22012 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤,郑立功,张斌智. 子孔径拼接检测大口径非球面技术的研究[J]. 应用光学,2009,2(30):273. |
| APA | 王孝坤,郑立功,&张斌智.(2009).子孔径拼接检测大口径非球面技术的研究.应用光学,2(30),273. |
| MLA | 王孝坤,et al."子孔径拼接检测大口径非球面技术的研究".应用光学 2.30(2009):273. |
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| 子孔径拼接检测大口径非球面技术的研究.c（1717KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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