Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 固着磨料加工碳化硅反射镜的微观理论模型 | |
王旭 ; 张学军
| |
| 2009-03-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 期号 | 3 |
| 摘要 | 基于固着磨料加工碳化硅反射镜的微观作用原理,从理论上定量分析了金刚石磨料压入碳化硅工件的深度对材料去除率、光学元件表面粗糙度的影响,分别获得了材料去除率数学模型及粗糙度的仿真计算结果。实验与理论模型的对比结果表明:去除率实验值与理论值走势相同并稳定在同一数量级内;粗糙度实验所使用的W1.5,W3.5,W5等丸片获得的粗糙度理论值与实验偏差分别为5.97%,3.19%,3.59%,由此验证了理论分析的正确性。 |
| 关键词 | 碳化硅反射镜 固着磨料 丸片 去除率 粗糙度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21987 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王旭,张学军. 固着磨料加工碳化硅反射镜的微观理论模型[J]. 光学精密工程,2009(3). |
| APA | 王旭,&张学军.(2009).固着磨料加工碳化硅反射镜的微观理论模型.光学精密工程(3). |
| MLA | 王旭,et al."固着磨料加工碳化硅反射镜的微观理论模型".光学精密工程 .3(2009). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 固着磨料加工碳化硅反射镜的微观理论模型.（395KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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