Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定 | |
王孝坤 ; 张学军
| |
| 2009-01-09 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| ISSN | 1006-4125 |
| 卷号 | 1期号:1 |
| 摘要 | 利用环形子孔径拼接法,无需零位补偿就能够实现对大口径非球面的测量。但是用干涉仪直接测得的各子孔径的相位数据中包含非共光路误差,同时必须把各子孔径的CCD像素坐标统一归化到镜面上,才能够实现全口径的拼接。提出了一种用干涉仪MetroPro软件中的Fiducial功能模块标定坐标投影畸变的新方法,同时利用Zemax软件模拟非共光路误差,并利用编制的相位拟合软件对该误差进行Zernike多项式拟合,从而很好地实现了坐标统一,并使非共路误差从相位分布中剔出。结合实例对一口径为350mm的非球面进行了拼接实验,并将拼接结果与零位补偿检测结果相对比,结果吻合,其PV值和RMS值的偏差分别为0.031l和0.005l(l=0.6328μm)。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21934 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤,张学军. 环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定[J]. 激光与光电子学进展,2009,1(1). |
| APA | 王孝坤,&张学军.(2009).环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定.激光与光电子学进展,1(1). |
| MLA | 王孝坤,et al."环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定".激光与光电子学进展 1.1(2009). |
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| 环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标（377KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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