Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 计算全息法测量长焦透镜面形和焦距 | |
岳巾英; 刘华 ; 许文斌; 王泰升; 卢振武
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| 2009-12-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学与应用光学
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| ISSN | 1674-2915 |
| 期号 | 6 |
| 摘要 | 为了同时对长焦透镜的面形和焦距进行高精度检测,提出在Zygo干涉仪的球面光路中加入一个二元衍射元件作为检测件的计算全息法。首先对计算全息法检测长焦透镜的面形和焦距进行了理论推导,并给出焦距误差公式。在Zemax中使用在平面基底上制作的二元衍射元件对一个长焦透镜的面形和焦距进行了模拟检测,其中对该长焦透镜面形的干涉检测PV值为0.0034λ,对焦距的检测精度为-0.11%。最后详细分析了两类误差对检测结果的影响,其中光学元件的位置误差影响不超过0.1λ;二元衍射元件的制造误差影响约0.01λ,在具体制造过程中,其径向位置误差和台阶误差可分别在2μm和5nm之内。在综合考虑各项误差的情况下,该方法的检测精度仍然可控制在2λ/25之内。 |
| 关键词 | 光学设计 计算全息法 长焦透镜 光学面形检测 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21892 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 岳巾英,刘华,许文斌,等. 计算全息法测量长焦透镜面形和焦距[J]. 中国光学与应用光学,2009(6). |
| APA | 岳巾英,刘华,许文斌,王泰升,&卢振武.(2009).计算全息法测量长焦透镜面形和焦距.中国光学与应用光学(6). |
| MLA | 岳巾英,et al."计算全息法测量长焦透镜面形和焦距".中国光学与应用光学 .6(2009). |
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| 计算全息法测量长焦透镜面形和焦距.caj（251KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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