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基于MEMS技术的分立式微变形镜校正能力研究
陈力子; 关小伟; 王宝国
2008-09-15
发表期刊大气与环境光学学报
ISSN1673-6141
期号5
摘要针对基于微型机电系统技术的分立式微变形镜,从镜面面形特点出发分析了方形和蜂窝形阵列变形镜适配能力,并利用ZEMAX软件建立畸变波前和变形镜模型,仿真分析两种分立式微变形镜的校正能力。研究表明在近似子单元数情况下,蜂窝形阵列微变形镜对畸变波前的校正能力更好。
关键词自适应光学 微变形镜 适配能力 校正能力
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21763
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
陈力子,关小伟,王宝国. 基于MEMS技术的分立式微变形镜校正能力研究[J]. 大气与环境光学学报,2008(5).
APA 陈力子,关小伟,&王宝国.(2008).基于MEMS技术的分立式微变形镜校正能力研究.大气与环境光学学报(5).
MLA 陈力子,et al."基于MEMS技术的分立式微变形镜校正能力研究".大气与环境光学学报 .5(2008).
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