Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 19_5nm极紫外反射镜的研制 | |
| 赵伟; 袁宏韬; 缪同群 | |
| 2008-05-15 | |
| 发表期刊 | 光学技术
 |
| ISSN | 1002-1582 |
| 期号 | 3 |
| 摘要 | 介绍了一种用于太阳观测19.5nm极紫外多层膜的研究工作。利用软件对规整的Mo/Si膜系结构进行了优化,拓宽了反射带宽,提高了积分反射率。采用双离子束溅射技术,时间控厚,成功制备了该反射镜。通过同步辐射反射率计测试表明,峰值反射率27.5%,均匀性在1%以内,已初步达到预设要求。 |
| 关键词 | 薄膜光学 极紫外 多层膜 非周期 离子束溅射 同步辐射 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21620 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵伟,袁宏韬,缪同群. 19_5nm极紫外反射镜的研制[J]. 光学技术,2008(3). |
| APA | 赵伟,袁宏韬,&缪同群.(2008).19_5nm极紫外反射镜的研制.光学技术(3). |
| MLA | 赵伟,et al."19_5nm极紫外反射镜的研制".光学技术 .3(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 19_5nm极紫外反射镜的研制.caj（119KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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