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光学自由曲面的检测方法
张新; 许英朝
2008-12-15
发表期刊中国光学与应用光学
ISSN1674-2915
期号Z1
摘要针对自由曲面光学元件离轴像差小,应用广泛,但检测难度大,加工精度不够高等特点,对现行的自由曲面光学检测方法进行了分析。提出了在自由曲面光学元件的不同加工阶段宜采用不同的检测手段,根据加工的步骤依次采用三坐标机、轮廓仪、光学干涉测量等方法为好。介绍了子孔径拼接技术的发展,叙述了利用计算全息(CGH)和反射光栅摄影测量法检测光学自由曲面等两种有着良好发展前景的方法。最后,给出了利用CGH检测三次位相板的实例。
关键词光学检测 自由曲面 坐标测量 误差评定 计算全息
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21468
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
张新,许英朝. 光学自由曲面的检测方法[J]. 中国光学与应用光学,2008(Z1).
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MLA 张新,et al."光学自由曲面的检测方法".中国光学与应用光学 .Z1(2008).
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