Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析 | |
苏东风; 续志军 ; 韩旭东
| |
| 2008-12-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学与应用光学
 |
| ISSN | 1674-2915 |
| 期号 | Z1 |
| 摘要 | 为了复制高精度、大直径薄光栅盘,对曝光装置中影响感光条件的支撑板进行了受力分析。将支撑板的力学分析归结为边界简支的圆形薄板的小挠度问题,通过理论计算得到了支撑板的挠度和厚度的计算关系式,为设计支撑板提供了理论依据。根据理论推导,选择旋转式曝光装置,采用直径为1000mm、厚度为40mm的支撑板,研制出了较高精度的大直径薄光栅盘,其最大直径误差为0.47″,均匀性误差为8%,满足了使用要求。 |
| 关键词 | 高精度光栅 挠度 厚度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21467 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏东风,续志军,韩旭东. 复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J]. 中国光学与应用光学,2008(Z1). |
| APA | 苏东风,续志军,&韩旭东.(2008).复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析.中国光学与应用光学(Z1). |
| MLA | 苏东风,et al."复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析".中国光学与应用光学 .Z1(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析.c（145KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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