Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器 | |
张吉英; 蒋大勇; 鞠振刚; 申德振 ; 姚斌; 范希武
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| 2008-12-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学与应用光学
 |
| ISSN | 1674-2915 |
| 期号 | Z1 |
| 摘要 | 考虑ZnO优秀的物理和化学性能以及由于生长温度低而具有更低的缺陷密度从而易于实现高的光电器件效率等特点,本文采用射频磁控溅射和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法在石英及蓝宝石衬底上生长了立方结构MgZnO薄膜,制备了MgZnO的MSM型紫外探测器。该器件实现了在日盲(太阳盲)波段的光响应,典型的光响应峰值分别在225和250nm,截止边为230和273nm。 |
| 关键词 | Mgzno薄膜 射频磁控溅射 金属有机化学汽相沉积 日盲紫外探测器 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21466 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张吉英,蒋大勇,鞠振刚,等. 用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器[J]. 中国光学与应用光学,2008(Z1). |
| APA | 张吉英,蒋大勇,鞠振刚,申德振,姚斌,&范希武.(2008).用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器.中国光学与应用光学(Z1). |
| MLA | 张吉英,et al."用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器".中国光学与应用光学 .Z1(2008). |
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| 用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探（232KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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